光反応性材料
構造
特長
- 光反応性
- 高屈折率
- 高耐熱性
- 樹脂改質剤
用途例
- コーティング
- 光反応性
- パターニング
物性表
OGSOL SI-10-10 | OGSOL SI-10-20 | ||
---|---|---|---|
分子量 | Mn | 2,100 | 1,100 |
Mw | 12,700 | 1,800 | |
耐熱性(5%重量減) | ℃ | 362 | 350 |
屈折率(589nm) | ー | 1.67 | 1.68 |
溶剤溶解性
- 評価条件 : 10wt%溶液を作製し、常温下で振とう機を用いて、溶解させた。
- 評価方法(目視) : ○ 1時間以内に溶解、× 不溶
エーテル | 芳香族 | エステル | ケトン | アルコール | ||||
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THF | トルエン | PGMEA | シクロヘキサノン | MEK | MIBK | i-プロパノール | PGME | |
OGSOL SI-10-10 |
○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × |
OGSOL SI-10-20 |
○ | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | × |
紫外線照射による吸収スペクトル変化
192mJ/cm2でSi-Si結合が切れ、パターニングが可能になります。
(340nm:Si-Si結合の吸収スペクトル)